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等离子清洗机 真空等离子清洗设备

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输入电压                                                   AC220V（±10V)/AC380

电源功率                                                  1KW-5KW

电压频率                                                  40kHz/13.56MKz

腔体容量                                                  125L—200L（可选）

使用气体                                                  二路工艺气体配置（可用气体：氩气、氧气、氮气、空气）
控制系统                                                  PLC触摸屏
过程控制                                                  自动与手动方式




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